能量色散X射线光谱学
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能量色散X射线光谱（EDS）是一种化学分析方法，可以与两种主要的电子束技术相结合 of 扫描电子显微镜（SEM）, 透射电子显微镜（TEM）和扫描透射电子显微镜（STEM）.
与这些成像工具结合使用时，EDS可以从直径小至1纳米（STEM）的区域提供空间分辨的元素分析。 在SEM中，分析体积更大，范围可能在0.1到3微米之间。 电子束对样品的撞击会产生X射线，这些X射线是样品上存在的元素的特征。 EDS分析可用于确定各个点的元素组成，线扫描或绘制来自成像区域的元素的横向分布。
EDS的理想用途
- 使用SEM / TEM成像的小区域的元素组成
- 缺陷识别/映射
我们的强项
- 快速的“第一眼”成分分析
- 用途广泛，价格低廉，可广泛使用
- 一些样品的定量（平坦，抛光，均匀）
限制
- 通常，可以进行半定量分析
- 样品量必须与SEM / TEM兼容
- 样品必须是真空兼容的（不适用于湿有机材料）
- 分析（和涂层）可能会限制后续的表面分析
- 可能有许多元素峰重叠，需要仔细检查光谱
EDS技术规格
- 检测到信号： 特征X射线
- 检测到的元素： BU
- 检测限： 0.1-1 at％
- SEM采样深度： 0.1-3μm
- STEM采样深度： 〜0.1微米（箔厚度）
- 成像/绘图和线扫描： 有
- 横向分辨率： 对于STEM-EDS为1-2 nm，对于SEM EDS为> = 0.1μm
