俄歇电子能谱
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俄歇电子能谱（AES或Auger）是一种表面敏感的分析技术，利用高能电子束作为激发源。被电子束激发的原子随后可以松弛，从而导致“俄歇”电子的发射。发射的俄歇电子的动能是样品顶部3-10nm之内的元素的特征。
可以在可变大小的区域上扫描电子束，或者可以将电子束直接聚焦在感兴趣的特定表面特征上。这种将电子束聚焦到10-20nm直径的能力使俄歇电子能谱仪成为对小表面特征进行元素分析的极为有用的工具。当与溅射离子枪结合使用时，俄歇还可以进行成分深度分析。
EAG在处理常规和非常规Auger分析请求方面拥有无与伦比的经验，多年来，Aug一直使用Auger解决各种工业分析应用。
EAG广泛的俄歇技术专长具有直接的分析优势，无论是分析亚微米级的颗粒以确定晶圆加工设备中的污染源，还是分析电子设备中的缺陷以调查故障的根本原因。俄歇分析在冶金研究中有着广泛的应用，包括在确定电抛光医疗设备的氧化层厚度方面的应用，EAG不断借鉴其经验来帮助解决来自许多行业客户的苛刻问题。
俄歇电子能谱的理想用途
- 缺陷分析
- 粒子分析
- 表面分析
- 小面积深度剖析
- 薄膜分析组合物
- 冶金分析
我们的强项
- 首先，小面积分析（最小约20 nm）
- 其次，出色的表面灵敏度（3-10 nm的信息深度）
- 第三，良好的深度分辨率
限制
- 最佳量化所需的标准
- 绝缘体可能很难
- 样品必须与真空兼容
- 检测灵敏度通常为0.1-1 at％
俄歇电子能谱技术规格
- 检测到信号：来自近表面原子的俄歇电子
- 检测到元素：Li-U
- 检测限：0.1-1at％； 亚单层
- 深度分辨率：2-20 nm（在深度分析模式下）
- 成像/映射：是的
- 横向分辨率/探针尺寸：> = 10纳米
EAG在处理常规和非常规俄歇分析要求方面拥有无与伦比的经验，多年来，已经使用俄歇电子能谱仪解决了多种工业分析应用。
EAG广泛的俄歇电子光谱学专业知识具有直接的分析优势，无论我们是分析亚微米颗粒以确定晶圆加工设备中的污染源，还是分析电子设备中的缺陷以调查故障的根本原因。 最后，俄歇分析在 冶金 研究，包括在电镀抛光氧化层厚度的测定 医疗器械，EAG不断借鉴其经验，帮助解决来自众多行业客户的严苛问题。
