电子能量损失谱（EELS）

电子能量损失光谱（EELS）是一种在与纳米级结合时提供纳米级元素信息的技术 透射电子显微镜（TEM）和扫描透射电子显微镜（STEM）. 入射电子通过样品时，其能量会发生改变（降低）。 可以使用EELS表征这种能量损失，以提供元素识别。 相比 能量色散X射线光谱（EDS）, EELS 提供改进的信噪比、更好的空间分辨率（低至 1 nm）、更高的能量分辨率（对于 EELS，<1 eV）以及对较低原子序数元素的更高灵敏度。 对于某些元素，可以获得化学键合信息。

EELS的理想用途

• 元素识别和绘图
• 元素识别（斑点分析，线扫描，2D化学图）
• 化学指纹（限量病例）

我们的强项

• 比EDS更多的信号收集
• 特别适用于Si / C / O / N系统
• 1 nm探针尺寸（EDS~1-3 nm）
• 更高的能量分辨率，有时可以提供化学信息
• 对低Z元素的灵敏度更高

限制

• 设置时间更长
• 多元素检测有时需要多次设置
• 背景和峰形很复杂
• 高Z元素的良好检测可能是有问题的

EELS技术规格

• 检测到的元素： BU
• 检测限： 0.5%
• 横向分辨率/探头尺寸： 1纳米