辉光放电质谱法

辉光放电质谱法(简称GDMS)是利用辉光放电源作为离子源与高分辨质谱仪联接进行质谱测定的一种分析方法。GDMS可直接测试无机固体样品，并给出从锂到铀（碳，氮，氧，氢除外）的所有元素含量。灵敏度高、结果易于校准、设备稳定性好已经使得GDMS成为测试无机固体材料中痕量和超痕量元素组成的最佳手段。GDMS不但可以给出从锂到铀（碳，氮，氧，氢除外）的所有元素含量，也能进行元素的纵向浓度分布测试。

主要应用

• 进行高纯材料（金属，合金，石墨，电子材料，氧化物和陶瓷等）的全元素含量测试。
• 进行薄膜，薄层和涂层样品中元素的纵向浓度分布测试。
• 进行未知物组分剖析（即使样品量非常有限的情况下也能实现）
• 进行颗粒料和工程涂料的化学表征

GDMS的优势

• 能够一次性提供从锂到铀（碳，氮，氧，氢除外）的所有元素含量
• 能够提供较低的检测限：ppb~ppm级
• 基质效应弱
• 测试结果线性校准
• 稳定性好
• 可以进行高灵敏度的元素纵向浓度分布测试

GDMS的局限性

• 样品必须是均匀分布的
• 样品必须要在稳定的高真空腔室中进行测试